勻膠機(jī)：顧名思義,是把膠均勻地涂在基片上的一種機(jī)器。方法很多，有滾涂，浸涂，噴涂，旋涂等，各有優(yōu)缺點(diǎn)。不同的應(yīng)用采取不同的涂膠方法。其中旋涂用得蕞多，那是因?yàn)樗苋〉棉└叩木鶆蛐裕前雽?dǎo)體微電子里光刻工藝的通用的方法。

作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來(lái)存儲(chǔ)不同材料的制備過(guò)程，每個(gè)程序段都能設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。